硅膜片壓阻式壓力變送器是一種常用的工業(yè)自動(dòng)化儀表,**應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。它通過測(cè)量局部介質(zhì)的壓強(qiáng)來轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的電信號(hào)輸出,實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力信息的準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)和控制。該儀器采用硅膜片作為敏感元件,利用其特殊的物理性質(zhì)來實(shí)現(xiàn)壓力的變換和傳遞。
硅膜片具有優(yōu)異的機(jī)械彈性特性和化學(xué)穩(wěn)定性,且具備良好的壓力敏感性能。當(dāng)受到外界壓力的作用時(shí),硅膜片會(huì)變形,導(dǎo)致硅微橋電阻發(fā)生相應(yīng)的改變。變阻器會(huì)根據(jù)電阻的變化情況產(chǎn)生相應(yīng)的電壓信號(hào),并經(jīng)過放大和線性化處理后輸出。因此,通過測(cè)量電壓信號(hào)的大小,我們就可以獲得被測(cè)介質(zhì)的壓力值。
在硅膜片壓阻式壓力變送器中,硅膜片通常由硅晶片加工而成。它具備微小尺寸、高靈敏度以及良好的可靠性等特點(diǎn)。硅膜片壓阻式壓力變送器的工作原理主要由硅薄膜電阻和電橋平衡控制兩個(gè)步驟來實(shí)現(xiàn)。
首先,當(dāng)被測(cè)壓力介質(zhì)施加在硅薄膜上時(shí),硅膜片發(fā)生形變,從而改變了其電阻值。這個(gè)變化的電阻值會(huì)引起電橋不平衡。接下來,電橋平衡控制電路會(huì)感應(yīng)到電橋不平衡信號(hào),并通過相應(yīng)的處理來恢復(fù)電橋的平衡狀態(tài)。通過測(cè)量電橋平衡時(shí)所需的電流或電壓大小,可以確定需要施加在硅薄膜上的壓力值。系統(tǒng)會(huì)將這個(gè)壓力值轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)的電信號(hào)進(jìn)行輸出。
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